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          我們應該如何去選擇勻膠機?

          更新時間:2022-06-10   點擊次數:129次
             旋轉涂覆技術一般采用設備是勻膠機,它是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于該機的轉速和溶膠的黏度,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
            
            那么,我們應該如何選擇勻膠機?
            1、旋轉速度:轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤該機圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的大部分低端設備只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。
            
            2、真空吸附系統的構造
            真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。用過國產的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的設備做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
            
            3、材質的選擇
            它對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,國產的大部分設備采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟?。┎馁|。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
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